型號(hào)

MTS331

MTS332

MTS333

MTS334

MTS335

MTS336

MTS337

行程（mm）

50

100

150

200

250

300

400

L(mm)

296

346

396

446

496

546

646

導(dǎo)軌

線(xiàn)性滑塊

螺桿導(dǎo)程(mm)

4

5

分辨率（mm）

0.00032

0.00039

極限速度（mm/s）

20

40

50

重復(fù)定位精度

＜0.005

運(yùn)動(dòng)直線(xiàn)度（mm）

0.015

0.015

0.02

0.02

0.02

0.025

0.025

運(yùn)動(dòng)平面度（mm）

0.02

0.02

0.025

0.025

0.025

0.03

0.03

軸向間隙

＜0.02

步進(jìn)電機(jī)（1.8°）

42步進(jìn)電機(jī)

56步進(jìn)電機(jī)

極限靜轉(zhuǎn)矩(Ncm)

40

50

80

中心負(fù)載（kg）

20

30

50

自重（kg）

5.3

5.8

6.3

6.8

7.4

8.0

11.7

備注

可選配防護(hù)罩，應(yīng)用真空環(huán)境中，需單獨(dú)訂貨